东莞HEPA高效过滤器的详细介绍

事实上，很多人对高效过滤器的了解还是停留在表面上，

例如，我只知道洁净室应该在最.初的G4+中效F5+中效F9+末端安装高效H14，但我仍然不太了解高效过滤器的一些特性！

例如，0.3um粒子的浓度不低于99.97%的效率是美国的A级高效过滤器。事实上，很少有人考虑这句话的详细含义！

例如，H14或U15过滤器的测试粒子尺寸是什么？

1.从HEPA高效过滤器的效率入手。

HEPA-higheficiencyparticulateair是高效过滤器。

HEPA最.早的使用来自美国军方，这与MIT相关。随后，欧洲继续优化自己的规范和标准。

目前，IEST-RP/EN1882/ISO14644三个标准在国家上流行。中国大部分项目都遵循EN1822标准。

IEST规定，MMD=0.3um颗粒的整体效率不低于99.97%；EN1882规定，只要MPS气溶胶通过率大于99.95%，即H13以上；

高效过滤效率表。

1).IEST中的MMD-MassMediandiameter是指粒子质量中径，即所有气溶胶粒径分布中50%的质量大于此值，50%的质量小于此值。

因此，不要认为IEST的规定@0.3um>=99.97%或@0.3um>=99.99%只是针对0.3um的要求。其实这个规定要求的是质量中径为0.3um的气溶胶群，即气溶胶是单分散相或多分散相，是一个范围内的气溶胶群，绝不是单粒径为0.3um的气溶胶。

2).CMD-CountofnumberMediandiameter是指粒子尺寸的中径，即50%的粒子大于此值。50%的粒子小于此值。MMD=0.3um的颗粒实际上CMD约为0.2um。这是因为虽然大颗粒的粒子数量和重量都很小，但质量和重量都很大。因此，在IEST上，99.97%@0.3um实际上大致相当于EN1882MPS的粒径。这里只是相似的，不能完全相同。

3).新版EN1822-2009将之前的E10E11E12作为HEPA分类为高效系列，与之前的EN1822-2000不同；

4)MPPS是多少？需要对某种过滤材料进行实验室测试，如某种玻璃纤维。需要至少进行5次重复试验。每次试验应发送[准]分散相或多分散相颗粒，覆盖整体0.1-0.5um范围。最.后，用曲线做出最.低点。根据目前EN1822的统计，大多数最.易穿透的颗粒粒粒径在0.1um-0.25um之间的一定值。从商业角度来看，气溶胶发生器或LASKIN喷嘴喷出的气溶胶粒径不能保证为唯.一粒径颗粒。在标准差方面，1.5多分散。需要注意的是，标准差与粒径大小没有直接关系，即计算结果与粒径无关。因此，我们可以认为，MPPS的粒径不是针对某个粒径，而是针对一个范围。这就是为什么MPPS要求在实际现场测试中测试一个范围内所有粒子的总数；它还表明，在不同的过滤风速下，MPPS是不同的。在离开工厂之前，需要明确额定的过滤速度。

5).对于实际的MPPS测试，MPPS/1.5-MPPS*1.5范围内1.5范围内的所有粒子总数。这里隐含的条件是气溶胶的灰尘应该正好落在这个范围内，粒径的中值CMD应该正好等于MPPS[理想化]，EN1822规定的偏差不能超过10%；

2.气溶胶发生器。

气溶胶发生器可分为热粉尘、冷粉尘、异凝粉尘、同凝粉尘等多种类型，在DPMS的帮助下，可保证单分散相粒径的发出。

MMD=0.3UMCMD=0.2UM。

MMD=0.6UMCMD=0.4UM。

Sinclair-相异，凝结1.05。

Rapaport-weinstork发生器单分散相异，凝结1.05。

自由喷射凝结式气溶胶发生器准单分散相自凝结←=1.5。

气溶胶粉尘+DPMS多分散电移过滤为单分散相←=1.1不稳定。

从美国的IEST可以看出，它们使用第.一和第二种光度计来测试质量浓度比；欧盟采用后四种测试，更加合理和优越。但问题是MPPS不能直接测量粒径值。实际上是一个范围。许多工厂直接将0.1-0.2um之间的所有粒子加起来作为MPPS的数量，应该符合MPPS/1.5-MPPS*1.5的范围。

根据EN1822-5，如果采用单分散相粒子，则在测试效率时不计量粒子分径。将所有粒子的数量直接加在一起，可以作为上下游的粒子计数。但这里需要注意的是，单分散相并不是真正的单分散相，而是有各种粒径分布。只要标准差小于1.5，就可以这样认为。

多分散相就不是这样了。由于标准差大于1.5，在测试过程中需要同时测量粒径分布和数量。需要注意的是，在上下游收集时，当MPPS已知时，只需测量MPPS/2-MPPS*2分段中的全部或部分粒子数量。

例如，现在EN发现MPPS颗粒通常位于0.1um-0.25um之间。该范围的最.大值与最.小值之比为2.5。因此，在EN1822-5的要求下，最.好取MPPS/2-MPPS*2的所有范围或部分。这是因为实际的光学粒子计数器存在测量精度问题。众所周知，测量分段一般为0.1um0.2um0.3um0.5um等。因此，实际结果是，大多数制造商或测试方的最.终计数结果是0.1um-0.2um之间的总数作为测量基础。

根据EN1822的要求，最.佳测量范围在mpps/1.5-mpps*1.5之间。但是，规范也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之间或在mpps*1.5-mpps*2的分段中选择一组作为剂量范围。因此，可以进行实际测试。

MPPS/1.5-MPPS*1.5。

MPPS/2-MPPS*1.5。

MPPS/1.5-MPPS*2。

在这三种情况下进行测量。

考虑到实际的光学粒子分析仪，应在三个分段中选择一个并选择所有粒子或部分粒子。如何根据实际粒子分析仪进行选择。实际工程结果在0.1-0.2um之间。由于大多数MPPS看起来像0.18um，第二个分段发可以选择0.09um-0.27um之间的部分，即0.1um-0.2um之间的值作为剂量标准。

以上是对多分散粒子试验的分析和说明。

3.接收方法。

一般有两种方法。

一种是用来测量质量浓度的光度计，不能计数。因此，可用于DOP方法测试H13和H14，尤其是在现场；

另一种是使用粒子计数器或粒径分析计数器，它可以测量粒径或数量。但需要注意的是，我们不能认为它可以测量任何粒径。它通常只能分段测量粒径。例如，0.1um0.2um0.3um0.5um，而不是你想象的0.11um、0.157um和0.18um的粒径。因此，粒子MPPS的实际接收在一段粒径之间。正如上面所说。

这是因为EN1822-3过滤材料测试的最.低MPPS点是通过曲线找到的，而不是实际测量的。规定至少测量六种不同的粒径，并通过绘制曲线找到最.低MPPS。这种方法只能通过单分散相的粒子发生器进行测试。因此，我们实际上发现的不是单粒径，而是一个范围；

此外，MPPS/1.5-MPPS*1.5之间的粒径已被要求在EN1822-4和EN1822-5之间，因此这进一步表明粒子分析只能测试某一段粒径之间的粒径，而不是

4.IEST的测试方法。

对于H13和H14，IEST需要测试质量浓度，而对于U15以上的高要求，需要使用粒子计数器，直接读取0.1um-0.2um或0.2um-0.3um中更不利的数据。但是，没有必要先检测MPPS值。

对于现场DOP检测，很多公司使用TFI的冷粉尘。因为它属于多分散阶段，其实结果是CMD在0.4um，MMD在0.7um，已经超过0.3um。因此，现场测试的质量浓度比99.99%@H13H14合理。因为这里的结果比实验室的0.3um低9.99%。

对于大多数项目，仍然使用H14以上的高效比较保险。

5.EN1822试验方法。

对于H10以上的，需要对MPPS进行测试。上面已经说明了测试方法。一般来说，它是测量一段时间内包含MPPS粒径的数量；

6.分析测试结果。

因为现场测试只能是样本，不可能全部测试。因此，实际结果分析采用了泊松分布95%信心区间的结果。